Ein Conveyor transportiert Substrate innerhalb einer Anlage oder von Anlage zu Anlage.
• 3-Zonen-Conveyor
• mit SMEMA-Schnittstelle
Die Art des Conveyors ist abhängig vom jeweiligen Substrat, welches transportiert werden soll. Ein Conveyor mit Stufenriemen wird bei besonders dünnen und empfindlichen Substraten empfohlen.